白光干涉仪
-
40/人使用者
-
303/次机时次数
-
1719/小时总时长
-
32/次送样次数
-
50/人收藏者
-
收费标准
机时100元/小时起送样详见检测项目 -
设备型号
* -
当前状态
-
管理员
杨楠,叶志强,薛静,杨桦 010-61715055 61715123 -
放置地点
沙河校区科研四号楼106
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 收费标准
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
白光干涉仪
资产编号
S2418715
型号
*
规格
*
产地
厂家
*
所属品牌
*
出产日期
购买日期
2024-11-13
所属单位
化学成分分析
使用性质
科研
所属分类
表面分析,化学分析,显微成像
资产负责人
杨楠
联系电话
010-61715055,61715123
联系邮箱
放置地点
沙河校区科研四号楼106
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1设备采用白光干涉原理成像，具备白光和绿光LED双光源；
2 垂直方向单次测量量程：≤10mm，全量程闭环控制，无缝合拼接；
3 台阶高度误差：≤0.75%；台阶高度测试重复性：≤0.1%；
4 粗糙度测试RMS重复性：≤0.01nm；
5 扫描速度：≤37μm/sec；
6 CCD相机：500万像素；1200*1000数据阵列；
7 五孔物镜切换塔台，包含5倍和20倍干涉物镜；
8 自动样品台：XY方向移动范围≥150mm×150mm；
9 具有自动缝合功能实现更大面积的扫描，可实现方形、圆形、圆环形、螺旋式等多种拼接缝合方式；
10 样品台倾斜调整：调节范围≥±6°；多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能，最大限度排除人为操作影响；
11 具备自动寻找测试表面和干涉条纹功能，无需手动调节。测试和分析一体化软件，测试结束之后可自动进行数据分析、数据保存。包含8um标准台阶样品和气浮式防震台。
2 垂直方向单次测量量程：≤10mm，全量程闭环控制，无缝合拼接；
3 台阶高度误差：≤0.75%；台阶高度测试重复性：≤0.1%；
4 粗糙度测试RMS重复性：≤0.01nm；
5 扫描速度：≤37μm/sec；
6 CCD相机：500万像素；1200*1000数据阵列；
7 五孔物镜切换塔台，包含5倍和20倍干涉物镜；
8 自动样品台：XY方向移动范围≥150mm×150mm；
9 具有自动缝合功能实现更大面积的扫描，可实现方形、圆形、圆环形、螺旋式等多种拼接缝合方式；
10 样品台倾斜调整：调节范围≥±6°；多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能，最大限度排除人为操作影响；
11 具备自动寻找测试表面和干涉条纹功能，无需手动调节。测试和分析一体化软件，测试结束之后可自动进行数据分析、数据保存。包含8um标准台阶样品和气浮式防震台。
主要功能及特色
表面形貌测量，如粗糙度和关键尺寸的测量分析
预约资源
检测项目
收费标准
1.自主上机收费
100元/小时
2.协同测试收费
120元/小时
3.校内送检收费
50元/样，单个样品超过3个点的，超出部分按20元/点计
mapping图：120元/小时
4.校外送检收费
100元/样，单个样品超过3个点的，超出部分按40元/点计
mapping图：240元/小时
100元/小时
2.协同测试收费
120元/小时
3.校内送检收费
50元/样，单个样品超过3个点的，超出部分按20元/点计
mapping图：120元/小时
4.校外送检收费
100元/样，单个样品超过3个点的，超出部分按40元/点计
mapping图：240元/小时
附件下载
公告
同类仪器
